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從380nm~1050nm的可視光至近紅外實現大范圍波長區域中的分光測定奧林巴斯的近紅外顯微分光測定儀USPM-RU-W可以高速&高精細地進行可視光區域至近紅外區域的大范圍波長的分光測定。由于其可以很容易地測定通常的分光光度計所不能測定的細微區域、曲面的反射率，因此十分適用于光學元件與微小的電子部件等產品。
實的測定功能
使用一臺即可進行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。
測定反射率
測定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點的反射率。
 物體色的測定圖例 |
測定物體顏色根據反射率數據顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關數值。 |
從受臺下部透過Ø2mm的平行光，測定平面樣品的透過率。
 透過率測定光路圖 |
從側面向45度面反射Ø2mm的平行光，測定其反射率。
 45度反射率測定光路圖 |
 光學系圖 |
實現高速測定使用平面光柵及線傳感器進行全波長同時分光測定，從而實現高速測定。 |
 反射率測定圖例 |
十分適用于測定細小部件、鏡片的反射率新設計了可以在Ø17~70μm的測定區域中進行非接觸測定的專用物鏡。通常的分光光度計不能進行測定的細小電子部件或鏡片等的曲面，也可以實現再現性很高的測定。 |
 消除背面反射光的原理 |
測定反射率時，不需要背面防反射處理將專用物鏡與環形照明組合，不需要進行被檢測物背面的防反射處理，就可測定*薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時，在本公司的測定條件下進行測定。 |
根據測定的分光反射率數據進行單層膜或多層膜的膜厚解析。可以根據用途選擇*佳的測定方法。
 峰谷法膜厚解析經過信息圖例 |
峰谷法這是一種根據測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計算出膜厚的方法，對于測定單層膜是有效的。不需要復雜的設置，可以簡單地求出。 |
 傅里葉轉換法膜厚解析經過信息圖例 |
傅里葉轉換法這是一種根據測定的分光反射率值的周期性計算膜厚的方法，對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時，可以幾乎不受噪音的影響進行解析。 |
 曲線調整法膜厚解析經過信息圖例 |
曲線調整法這是一種通過推算測定的分光反射率值與根據某種膜構造計算的反射率的差達到*小的構造計算出膜厚的方法，對于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進行不會出現峰值及低谷的薄膜解析。 |
高速、高精度地應對多樣化測定需求。
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通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學元件的反射率，進行涂層評價、物體顏色測定、膜厚測定。數碼相機鏡片 |
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適用于LED反射鏡、半導體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。LED包裝 |
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適用于平面光學元件、彩色濾鏡、光學薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。液晶彩色濾鏡 |
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適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產生的反射率測定。棱鏡 |
技術參數
| 反射率測定 | 透過率測定*1 | 45度反射測定*1 | |||
| 名稱 | 近紅外顯微分光測定儀 | 近紅外顯微分光測定儀用 透過測定選配件 |
近紅外顯微分光測定儀用 45度反射測定選配件 |
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| 型號 | USPM-RU-W | ||||
| 測定波長 | 380～1050nm | ||||
| 測定方法 | 對參照樣品的比較測定 | 對1*0%基準的透過率測定 | 對參照樣品的比較測定 | ||
| 測定范圍 | 參照下列對物鏡的規格 | 約ø2.0mm | |||
| 測定 再現性（3σ）*2 |
反射率測定 | 使用10×、20×物鏡時 | ±0.02[%]以下（430-1010nm）、 ±0.2[%]以下（上述以外） |
±1.25[%]以下（430-1010nm）、 ±5.0[%]以下（左側記載除外） |
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| 使用40×物鏡時 | ±0.05[%]以下（430-950nm）、 ±0.5[%]以下（上述以外） |
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| 厚膜測定 | ±1% | - | |||
| 波長顯示分解能 | 1nm | ||||
| 照明附件 | 專用鹵素燈光源 JC12V 55W（平均壽命700h） | ||||
| 位移受臺 | 承載面尺寸：200(W)×200(D)mm 承重：3 kg 工作范圍：(XY) ±40mm, (Z)125mm |
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| 傾斜受臺 | － | 承載面尺寸： 140(W)×140(D)mm 承重： 1 kg 工作范圍：(XT) ±1°, (YT) ±1° |
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| 裝置質量 | 主體：約26 kg（PC除外） | 主體：約31 kg（PC除外）*3 | |||
| 控制電源箱：約6.7kg | |||||
| 裝置尺寸 | 主體部位：360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位：360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
| 控制電源箱：250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
| 電源規格 | 輸入規格：100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
| 使用環境 | 水平無振動的場所 溫度：15～30℃ 濕度：15～60％RH（無結露） |
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*1 選件組件 *2 本社測定條件下的測定 *3 裝配透過率測定套件與45度反射測定套件的總重量為33kg。
| 型號 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
| 倍率 | 10x | 20x | 40x |
| NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| 測定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
| 工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| 樣品的曲率半徑 | ±5mm～ | ±1mm～ | ±1mm～ |
*4 點徑
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